分子束外延（MBE）

電子束曝光機 晶圓級制造

自動(dòng)紫外光刻機

手動(dòng)紫外光刻機

自動(dòng)勻膠機

自動(dòng)顯影機

HMDS烘箱

手動(dòng)勻膠機

反應離子刻蝕RIE

電感耦合等離子體刻蝕ICP

電子束蒸發(fā)鍍膜

磁控濺射sputter

等離子增強化學(xué)氣相沉積PECVD

有機清洗機

無(wú)機清洗機

臺階儀

膜厚儀

快速退火爐

引線(xiàn)機

減薄拋光機